芯片中通常需要很多層連接層,是因?yàn)橛刑嗑€路要連結(jié)在一起,在單層無(wú)法容納所有的線路下,就要多疊幾層來(lái)達(dá)成這個(gè)目標(biāo)了。在這之中,不同層的線路會(huì)上下相連以滿足接線的需求。
如果要以油漆噴罐做精細(xì)作圖時(shí),我們需先割出圖形的遮蓋板,蓋在紙上,接著再將油漆均勻地噴在紙上,待油漆乾后,再將遮板拿開。
不斷的重復(fù)這個(gè)步驟后,便可完成整齊且復(fù)雜的圖形。制造ic就是以類似的方式,藉由遮蓋的方式一層一層的堆疊起來(lái)。
芯片在制造過(guò)程中分為四種步驟,雖然實(shí)際制造時(shí),制造的步驟會(huì)有差異,使用的材料也有所不同,但是大體上皆采用類似的原理。
這個(gè)流程和油漆作畫有些許不同,ic制造是先涂料再加做遮蓋,油漆作畫則是先遮蓋再作畫。
第一步,金屬濺鍍:將欲使用的金屬材料均勻?yàn)⒃诰A片上,形成一薄膜。
第二步,涂布光阻:先將光阻材料放在晶圓片上,透過(guò)光罩,將光束打在不要的部分上,破壞光阻材料結(jié)構(gòu)。接著,再以化學(xué)藥劑將被破壞的材料洗去。
第三步,蝕刻技術(shù):將沒(méi)有受光阻保護(hù)的硅晶圓,以離子束蝕刻。
第四步,光阻去除:使用去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。
最后便會(huì)在一整片晶圓上完成很多ic芯片,接下來(lái)只要將完成的方形ic芯片剪下,便可送到封裝廠做封裝。
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